DFS4000系列質量流量計簡介
產(chǎn)品概述:
DFS4000是采用世界領先的微機電系統(tǒng)流量傳感器技術和智能電子控制技術,專為普通氣體流量監(jiān)測開發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測量氣體質量流量,低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監(jiān)控,還可用于環(huán)境采樣器(如色譜分析儀器等)。
DFS4003流量傳感器,管道內(nèi)徑為3mm,成本低測量范圍到5SLPM;適用于粒子計數(shù)器和各類分析儀器。
DFS4008流量傳感器,管道內(nèi)徑為8mm,測量范圍到50SLPM;可用于麻醉設備、潔凈氣體檢測,如:空氣采樣機,氣體分析儀等
產(chǎn)品特點:
- 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計;
- 支持多種連接方式,易于安裝與使用;
- 傳感芯片采用熱質量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳感器的高精度計量;
- 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使其量程比達到了100:1甚至更高;
- 輸出方式靈活,既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù),也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓;
- 零點穩(wěn)定度高;
- 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復性;
- 低功耗、低壓損;
- 響應速度快;
產(chǎn)品技術參數(shù):
性能參數(shù) |
DFS4003 |
DFS4008 |
單位 | |
通 徑 |
3 |
8 |
mm | |
流量 |
2, 3, 4, 5 |
10, 20, 30, 40, 50 |
SLPM | |
量程比 |
100:1 |
| ||
精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% | ||
重復性 |
0.75 |
% | ||
零點輸出飄移 |
±30 |
mV | ||
輸出飄移 |
0.12 |
%/oC | ||
響應時間 |
100 |
ms | ||
工作電源 |
8~18Vdc,100mA |
| ||
輸出方式 |
線性,RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc |
| ||
流量壓損 |
100 |
600 |
pa | |
工作壓力 |
0.5 |
MPa | ||
工作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC | ||
存儲溫度 |
-20 ~ +65 |
oC | ||
工作濕度 |
<95%RH(無結冰、無凝露) |
| ||
機械接口 |
BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭 |
| ||
校準方式 |
空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa |
| ||
重量 |
57(帶R1/4,BSPT1/4接口) |
g |
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