LEYBOLD萊寶C03 活塞式和渦旋式干泵
LEYBOLD萊寶ECODRY M 系列活塞式干泵
Ecodry系列為歐瑞康萊寶推向市場的一種干式泵。它可以滿足除半導體行儀以外的所有干式真空的需要。由于它相對于其他干式泵來說,結構簡單,價合理,因此剛一面市、即受到廣大格用戶的歡迎。
Ecodry活塞式干泵的主要技術參數(shù):
抽速:14m3/h~30m3/h
極限真空度:5.5×10-2mbar
排水蒸氣能力:25mbar()
Ecodrg活塞式干泵的主要特點:
1、結構簡單,易于操作和維護;
2、工作過程中不產(chǎn)生粉塵;
3、耐粉塵,排水蒸氣能力強;
4、低能耗,堅固耐用,可靠性高;
5、可以選配變頻器增大抽速;
典型應用:質譜儀,電子顯微鏡,照明,鍍膜,loadlock,無油高真空前級泵等。
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