例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。所以,河南凈化工程對(duì)類似這種空間是非常有必要的。
河南凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理,均應(yīng)采用初效、中效、高效空氣過濾器三級(jí)過濾。100000級(jí)空氣凈化處理,可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器?諝膺^濾器的選用布置和安裝方式,應(yīng)符合:初效空氣過濾器不應(yīng)選用浸油式過濾器;中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段;高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端,高效空氣過濾的安裝方式應(yīng)簡(jiǎn)便可靠,宜檢漏和更換;中效、亞高效、高效空氣過濾器宜按額定風(fēng)量選用;阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設(shè)置在同一凈化車間內(nèi)。
凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時(shí),應(yīng)選用管狀電加熱器,位置應(yīng)布置在高效空氣過濾器的上風(fēng)側(cè),并應(yīng)有防火安全措施。送風(fēng)機(jī)可按凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的總送風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇,中效、高效空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計(jì)算。需要注意的是:河南凈化工程中凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設(shè)置值班風(fēng)機(jī)的系統(tǒng)外,應(yīng)采取防止室外污染空氣通過新風(fēng)口參入凈化車間內(nèi)的防灌倒措施。
{{item.AppContent}}